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問答題
【簡答題】簡述源材料擴(kuò)散穿過邊界表面時(shí)的兩種表面吸附
答案：
化學(xué)吸附：襯底表面的原子與吸附的源材料的分子內(nèi)的原子形成化學(xué)鍵；
物理吸附：吸附在源材料的表面
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問答題
【簡答題】熱生長氧化物和CVD氧化物的本質(zhì)區(qū)別是什么？
答案：
生長的薄膜與消耗的硅襯底，淀積的薄膜不消耗硅襯底。熱生長的二氧化硅來自氣相氧，硅來自襯底，當(dāng)薄膜生長進(jìn)入襯底時(shí)，這個(gè)過程...
