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問答題

【簡答題】影響氧化速度的因素有哪些？

答案：摻雜物、晶體晶向、壓力、溫度、水蒸氣。

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【簡答題】描述熱氧化過程。

答案： ①干氧：Si＋O₂ SiO₂
氧化速度慢，氧化層干燥、致...

【簡答題】說明水汽氧化的化學反應，水汽氧化與干氧氧化相比速度是快還是慢？為什么？

答案：化學反應：Si+2H₂O->SiO₂+2H₂

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