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問答題

【簡答題】列出光刻工藝的十個(gè)步驟，并簡述每一步的目的。

答案： ①表面準(zhǔn)備：清潔和干燥晶圓表面
②涂光刻膠：在晶圓表面均勻涂抹一薄層光刻膠
③軟烘培：加熱，部分蒸發(fā)...

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【簡答題】光刻技術(shù)的圖形轉(zhuǎn)移分為哪兩個(gè)階段？

答案：

①圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠層
②圖形從光刻膠層轉(zhuǎn)移到晶圓層

【簡答題】什么叫做光刻，光刻有何目的？

答案：定義：光刻是圖形復(fù)印與腐蝕作用相結(jié)合，在晶片表面薄膜上制備圖形的精密表面工藝技術(shù)。
目的：在介質(zhì)薄膜（二氧化硅...