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【簡答題】簡述什么是電子束曝光
答案:
電子束曝光是先利用低功率密度的電子束照射稱為電致抗蝕劑的高分子材料,由入射電子與高分子相碰撞,使分子鏈被切斷或重新聚合而...
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答案:
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