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單項選擇題

環(huán)境溫度的變化可影響硅片的涂膠均勻性，通常將環(huán)境溫度設定于（）。

A.20℃
B.23℃
C.25℃
D.28℃

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單項選擇題

光刻膠對人部分可見光敏感，但對（）光不敏感。

A.黃
B.紅
C.紫
D.藍

單項選擇題

高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進光刻機上，那么i線的UV光波長為（）

A.416nm
B.405nm
C.365nm
D.740nm

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