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【簡答題】列出三類晶體缺陷并說明其形成的原因
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①點缺陷:晶體雜志原子擠壓晶體結(jié)構(gòu)引起的壓力所致
②位錯:晶體生長條件、晶體內(nèi)的晶格應(yīng)力、制造過程中的物理損壞...
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②高精度:光刻圖形的最小線條尺寸在亞微米量級,制備的介質(zhì)薄膜厚度也在納米量級...
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