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【簡答題】采用LPCVD TEOS淀積的是什么膜?這層膜的優(yōu)點(diǎn)是什么?
答案:
多晶硅薄膜
用TEOS(正硅酸乙酯)-臭氧方法淀積SiO
2
Si(C
...
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【簡答題】質(zhì)量輸運(yùn)限制CVD和反應(yīng)速度限制CVD工藝的區(qū)別?
答案:
1、質(zhì)量傳輸限制淀積速率
淀積速率受反應(yīng)物傳輸速度限制,即不能提供足夠的反應(yīng)物到襯底表面,速率對溫度不敏感(如...
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問答題
【簡答題】名詞解釋:CVD、LPCVD、PECVD、VPE、BPSG。(將這些名詞翻譯成中文并做出解釋)。
答案:
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