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填空題

Rosemount 3051C智能變送器的傳感器是（）式，它將被測參數(shù)轉(zhuǎn)換為（）的變化，然后通過測（）的方法來得到被測的差壓或壓力。

答案：硅電容；電容；電容

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答案：復(fù)合半導(dǎo)體；硅芯片電阻值；電阻

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答案：硅振諧；硅梁的振動頻率；頻率