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問答題
【簡(jiǎn)答題】試說明在標(biāo)準(zhǔn)埋層雙極晶體管工藝中器件之間是如何隔離的。
答案:
在外延層上進(jìn)行p+擴(kuò)散,形成穿透外延層的P+隔離墻,將外延層分割成若干彼此獨(dú)立的N型隔離“島”。...
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埋層:第一次光刻;
在P型襯底上注入As進(jìn)行N型擴(kuò)散,之后在晶圓表面淀積一層N型外延層,則把N型擴(kuò)散區(qū)域&ld...
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問答題
【簡(jiǎn)答題】畫出標(biāo)準(zhǔn)埋層雙極晶體管的剖面結(jié)構(gòu)圖并標(biāo)注出相應(yīng)的材料圖。
答案:
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