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問答題

【簡(jiǎn)答題】離子注入通常在什么工藝之后？

答案：光刻。

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答案：離子注入，熱擴(kuò)散，硅漿料，絲網(wǎng)印刷，激光

【簡(jiǎn)答題】列出并闡述刻蝕多晶硅的三個(gè)步驟。

答案：

1.對(duì)下層?xùn)叛趸瘜泳哂懈叩倪x擇比
2.非常好的均勻性和可重復(fù)性。
3.高度的各向異性

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