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問答題

【簡(jiǎn)答題】為什么要進(jìn)行顯影后檢查？

答案： 為了查找光刻膠中成形圖形的缺陷，鑒別并除去有缺陷的硅片，用來檢查光刻工藝的好壞，為光學(xué)光刻工藝生產(chǎn)人員提供用于糾正的信息...
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問答題

【簡(jiǎn)答題】解釋光刻膠選擇比，要求的比例是高還是低？
答案：

顯影也應(yīng)具有選擇性，高的顯影選擇性比意味著顯影液與曝光的光刻膠反應(yīng)得快。
要求比例低。
問答題

【簡(jiǎn)答題】使用什么材料制作投影掩膜板，投影掩膜板上形成圖形的不透明材料是什么？
答案： 最主要的是用于亞微米光刻的投影掩膜版襯底材料是熔融石英。不透明材料是一薄層鉻。
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