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【簡答題】什么是數(shù)值孔徑(NA),陳述它的公式,包括近似公式?
答案:
透鏡收集衍射光的能力被稱做透鏡的數(shù)值孔徑,NA=(n)t透鏡的半徑除以透鏡的焦長。
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【簡答題】解釋透鏡壓縮是怎么發(fā)生的,它產(chǎn)生了什么問題?
答案:
透鏡壓縮是透鏡材料結(jié)構(gòu)上的重新排列導(dǎo)致透鏡材料增密,壓縮發(fā)生在透鏡材料中,包括熔融石英它可以增加激光束穿過區(qū)域的透鏡材料...
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【簡答題】DUV波長曝光時使用哪種透鏡材料?
答案:
一種合適的透鏡材料是熔融石英,他是深紫外波長范圍內(nèi)的較少的光吸收,氟化鈣正在作為一種可能的候選透鏡材料。
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