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問答題

【簡答題】典型的DUV光刻膠曝光劑量的寬容度是多少？

答案：深紫外光刻膠的曝光寬容度是劑量變化范圍在1%左右。

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【簡答題】哪種激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？

答案：通常用于深紫外光刻膠的準分子激光器是波長為248nm氟化氪（KrF）激光器，193nm的氟化氪激光器大概是作為曝光源的準...

【簡答題】如果光刻膠對光的吸收過多側(cè)墻會怎樣？

答案：如果光刻膠的吸收過多，光刻膠底部接收的光強度就會比頂部的少很多，會導(dǎo)致圖形側(cè)墻傾斜。

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