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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】負(fù)膠的兩大缺點(diǎn)是什么。

答案：在顯影時(shí)曝光區(qū)域由溶劑引起的泡脹；曝光時(shí)光刻膠可與氮?dú)夥磻?yīng)從而抑制其交聯(lián) 。

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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】列出并描述I線光刻膠的4種成分。

答案： 1.樹(shù)脂。光刻膠樹(shù)脂是一種惰性的聚合物基質(zhì)，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑
2.感光劑。是光刻膠材料...

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么是負(fù)膠分辨率的限制，哪種膠應(yīng)用在亞微米光刻膠中？

答案：

由于顯影時(shí)的變形和膨脹，負(fù)性光刻膠通常只有2μm的分辨率。
正性光刻膠。