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問答題

【簡答題】列出光刻的8個步驟，并對每一步做出簡要解釋。

答案： 1氣相成底膜：第一步是清洗、脫水和硅片表面成底膜處理。
2旋轉涂膠：完成底膜后，硅片要立即采用旋轉涂膜的方法涂...

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【簡答題】解釋亮場掩膜版和暗場掩膜版。

答案：如果一個掩膜版，其石英板上大部分被鉻覆蓋，它就指的是暗場掩膜版。亮場掩膜版有大面積的透明的石英，而只有很細的鉻圖形。

【簡答題】描述投影掩膜版和光掩膜版的區(qū)別？

答案：投影掩膜版它包括了要在硅片上重復生成的圖形。這種圖形可能僅包含一個管芯，也可能是幾個光掩膜版通常稱為掩膜版，包含了對于整...