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問答題

【簡(jiǎn)答題】描述場(chǎng)氧化層及其厚度范圍。

答案：場(chǎng)氧化層：抑制金屬層的電荷堆積的厚氧化層
范圍：2500~12000 * 10^-10（A...

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【簡(jiǎn)答題】什么是淺槽隔離（STI），它取代了什么工藝？

答案：

淺槽隔離（STI）是在襯底制作的晶體管有源區(qū)之間隔離區(qū)的一種可選工藝。
取代了局域氧化工藝（LOCOS）

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