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填空題

為了避免短溝道效應(yīng)，可采用按比例縮小法則，當(dāng)MOSFET的溝道長度縮短一半時，其溝道寬度應(yīng)（），柵氧化層厚度應(yīng)（），源、漏區(qū)結(jié)深應(yīng)（），襯底摻雜濃度應(yīng)（）。

答案： 增大；減小；增大；增大
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