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填空題

微系統(tǒng)是集成了微電子和（）的系統(tǒng)。

答案：微機械

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電子束加工技術(shù)主要應(yīng)用電子束焊接、（）、電子束表面改性、電子束固化。

答案：電子束打孔

計算機集成制造CIM是信息技術(shù)和（）的綜合應(yīng)用。

答案：生產(chǎn)技術(shù)

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