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多項(xiàng)選擇題

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

A.硫酸
B.氫氟酸
C.雙氧水
D.去離子水

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單項(xiàng)選擇題

（）可以通過(guò)帶電粒子在盛場(chǎng)作用下做運(yùn)動(dòng)把粒子進(jìn)行篩選，挑選出唯一需要注入的離子。

A.離子源
B.磁分析器
C.加速管
D.終端系統(tǒng)

單項(xiàng)選擇題

利用高溫驅(qū)動(dòng)雜質(zhì)滲透進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)，此工序采用的設(shè)備是（）

A.擴(kuò)散爐
B.離子注入機(jī)
C.加熱平板
D.對(duì)流烘箱

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