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問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述主要金屬層的制備方法？

答案：

•蒸發(fā)
•濺射
•金屬化學(xué)氣相沉積
•電鍍

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答案：優(yōu)點(diǎn)：
•更低的電阻率
•減少了功耗
•更高的互連線集成密度...

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