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問答題

【簡答題】列出4種曝光技術(shù)，并說明那種分辨率最高，說明各種曝光技術(shù)的優(yōu)缺點。

答案： 1、接觸式曝光：分辨率較高，可在亞微米范圍內(nèi)。接觸時的微粒會在晶圓上產(chǎn)生缺陷，光刻版的壽命也會減短。
2、接近...

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