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外延層的夾層
答案:
外延層和襯底界面附近出現(xiàn)的高阻層或反型層。
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名詞解釋
自摻雜
答案:
雜質(zhì)從襯底及基座中蒸發(fā)出來進(jìn)入氣相中繼而再次摻入外延層中,也包括由于襯底基座被腐蝕而進(jìn)入氣相中進(jìn)而摻入外延層中。
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名詞解釋
吸雜工藝
答案:
通過機(jī)械化學(xué)處理方法,在硅片的非電活性區(qū)引入缺陷,在熱處理時(shí)一些重金屬雜質(zhì)會(huì)擴(kuò)散并淀積在這些缺陷處,從而減少了這些有害雜...
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