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問答題

【簡(jiǎn)答題】磷源更換操作流程是什么？泄露應(yīng)該怎么處理？

答案：源瓶更換的標(biāo)準(zhǔn)操作過程依次關(guān)閉進(jìn)氣閥門、出氣閥門，拔出連接管道，更換源瓶，連接管道，打開出氣閥門、進(jìn)氣閥門。液態(tài)源外溢了...

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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述太陽能電池片制造PECVD的目的及原理？

答案：目的：在太陽電池表面沉積深藍(lán)色減反膜-SiN膜。
P.ECVD技術(shù)原理：是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣...

【簡(jiǎn)答題】分別寫出刻蝕及去PSG的工藝控制流程？

答案：刻蝕的流程：預(yù)抽，主抽，送氣，輝光，清洗，預(yù)抽，主抽，充氣
去PSG的流程：酸洗（HF），溢流水洗，噴淋，甩干