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填空題

壓電式壓力傳感器的核心部件是（），它既是（），又是（）。

答案：一塊單晶硅膜片；壓敏元件；變換元件

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霍爾式壓力傳感器主要包括（）、（）、（）三個(gè)部分。

答案：壓力—位移轉(zhuǎn)換部分；位移—電勢轉(zhuǎn)換部分；定電壓電源

電容式壓力傳感器可分為（）、（）、（）三種形式。

答案：改變極板間距離；改變極板重疊面積；改變極板間介電常數(shù)

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