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單項選擇題

實際VPE工藝溫度多在質(zhì)量傳遞控制區(qū)，此時外延速率（）

A.對溫度不太敏感
B.對溫度非常敏感
C.源的氣相擴(kuò)散的影響不大
D.源氣體分壓的影響不大

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涂膠前的打底膜是為了增強(qiáng)光刻膠與襯底之間的浸潤性。

答案：正確

實際擴(kuò)散工藝通過調(diào)整爐溫比調(diào)整擴(kuò)散時間對結(jié)深的影響更大。

答案：正確

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