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問答題
【簡答題】5W281母盤CA1633YH染料出現(xiàn)LG第三點PO=1如何處理?
答案:
(1)檢查母盤數(shù)量;
(2)檢查白片溝深、溝寬、厚度;
(3)檢查OD;
(4)更換染料;
(5)更換母盤。
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(1)是否和mask有關(guān);
(2)洗邊針頭位置是否正確(針頭前端的角度與盤片45℃,前端與盤片3張成品的厚度)...
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