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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述旋涂穩(wěn)定的控制。

答案: (1)、盡量少開旋涂室的門,控制溫濕度;
(2)、旋涂室的溫度應(yīng)對(duì)外部環(huán)境略高些,基本為30℃。濕度為30%;...
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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】如何調(diào)整洗邊?

答案:

①調(diào)整洗邊正角壓力;
②調(diào)整下料閥;
③調(diào)整針頭與盤片的位置和角度;
④增大1段速度;
⑤增大二段時(shí)間;
⑥檢查Mask。

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】中孔不圓如何調(diào)整?

答案: 調(diào)整下料桿的長(zhǎng)短,針頭傾斜角度,以及中孔下料位置。
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