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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】在調(diào)整旋涂時(shí)，請(qǐng)簡(jiǎn)單說(shuō)明如何降低尾部OD？

答案：增加第三段加速度或降低二段加速度。

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【簡(jiǎn)答題】在調(diào)整旋涂時(shí)，怎樣提高頭部OD？

答案：增加一段時(shí)間或提高擺臂速度。

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述中心孔處碎屑的處理。

答案：（1）沖切的延遲（硬好還是軟好）；
（2）增加沖切的行程；
（3）沖切速度對(duì)于中心孔碎屑有較大影響；...

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