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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述MOS集成電路工藝中提高場(chǎng)開(kāi)啟電壓的方法？

答案： ①加厚場(chǎng)氧化層的初始厚度，并嚴(yán)格控制隨后加工中的腐蝕量。
②在場(chǎng)區(qū)注入（或擴(kuò)散）與襯底同型的雜質(zhì)，以提高襯底表...

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