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填空題

電子束加工是使用電子束聚焦后沖擊工件表面，使被沖擊的工件材料達(dá)到幾千℃的高溫，從而引起材料的局部熔化和氣化。它需要有（）系統(tǒng)。

答案：真空

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高能束流加工是利用能量密度很高的電子束、激光束或（）等去除工件材料的特種加工方法的總稱。

答案：離子束

微細(xì)加工的特征尺寸范圍為1~10（）。

答案： nm

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