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多項選擇題

微電子學(xué)是一門綜合性很強的邊緣學(xué)科,其中包括了()。

A.半導(dǎo)體器件物理
B.集成電路工藝
C.化學(xué)工業(yè)
D.工業(yè)自動化
E.材料科學(xué)

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