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單項選擇題

如果跨導減小，MOS晶體管的噪聲電流將（）。

A.減小
B.增大
C.不變
D.不確定

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多項選擇題

?在現代Si CMOS IC金屬化工藝中，Ti和TiN的作用是（）。

A.TiN是勢壘層（阻擋層）
B.兩個都是導電層
C.Ti是粘結層或焊接層
D.TiN防反射層

多項選擇題

Poly-Si gate的刻蝕應采用什么特性和什么方法的刻蝕？（）

A.濕法刻蝕
B.干法刻蝕
C.各向同性刻蝕
D.各向異性刻蝕

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