A.光學(xué)平晶等厚干涉法 B.測微法 C.激光準(zhǔn)值儀法 D.光隙法
與理想要素比較原則、測量坐標(biāo)值原則、測量特征參數(shù)原則、測量跳動原則以及控制實(shí)效邊界原則。