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【簡答題】何為化學(xué)氣相蒸鍍(CVD)?主要的優(yōu)缺點(diǎn)有哪些?
答案:
化學(xué)氣相蒸鍍乃使用一種或多種氣體,在一加熱的固體基材上發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并鍍上一層固態(tài)薄膜。
優(yōu)點(diǎn):
(...
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問答題
【簡答題】使用CVD法成長鉆石薄膜,氫元素和碳元素的濃度有何重要性?
答案:
CVD生長鉆石膜的瓶頸乃在避免碳?xì)浠镄纬墒?,因此氫原子?yīng)比碳源多很多。碳源濃度決定了鉆石膜的生長速率,但碳源太高時(shí)氫...
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問答題
【簡答題】試說明CVD法生長鉆石薄膜之特性?
答案:
為使CVD的鉆石生長順利,碳源常用已具鉆石結(jié)構(gòu)的甲烷。甲烷可視為以氫壓出的單原子鉆石。所以故煮飯時(shí)的煤氣含大量懸浮的單原...
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