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多項選擇題

某發(fā)明專利申請的權(quán)利要求1如下:“權(quán)利要求1:一種半導(dǎo)體器件,包括部件a、b、c。”下列哪些權(quán)利要求的撰寫存在缺陷?()

A、權(quán)利要求2:如權(quán)利要求1所述的制造半導(dǎo)體器件的方法,其特征在于d
B、權(quán)利要求2:制造如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件的方法,其特征在于e
C、權(quán)利要求2:如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于所述部件f由銅制成
D、權(quán)利要求2:如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于還包括部件g

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