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填空題

為提高光柵式測試系統(tǒng)的分辨率和測得比柵距更小的位移量，經(jīng)常采用（）技術(shù)。

答案：細(xì)分

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被測量的值處在穩(wěn)定狀態(tài)下，傳感器輸出與輸入的關(guān)系稱為傳感器的（），其主要技術(shù)指標(biāo)有：（）、（）遲滯和重復(fù)性等。

答案：靜態(tài)特性；線性度；靈敏度

電容式傳感器是將被測量的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器，主要類型有：變極距型、（）、（）。

答案：變面積型；變介電常數(shù)型

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