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問答題

【簡(jiǎn)答題】什么是光敏度，移相掩膜，駐波效應(yīng)？

答案：光敏度：指單位面積上入射的使光刻膠全部發(fā)生反應(yīng)的最小光能量或最小荷量。
移相掩膜：基本原理是在光掩模的某些透明...

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【簡(jiǎn)答題】常見的光刻對(duì)準(zhǔn)曝光設(shè)備有？

答案：

接觸式光刻機(jī)；接近式光刻機(jī)；掃描投影光刻機(jī)；分步重復(fù)投影光刻機(jī)；步進(jìn)掃描光刻機(jī)。

【簡(jiǎn)答題】常見的曝光光源？

答案：

紫外光源、深紫外光源。