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問答題

【簡答題】顯影為何要進行檢查？

答案：

區(qū)分哪些有很低可能性通過最終掩膜檢驗的襯底，提供工藝性能和工藝控制數(shù)據(jù)，以及分揀出需要重做的襯底

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【簡答題】顯影檢查內(nèi)容有哪些？

答案：

檢查內(nèi)容：掩膜版選用是否正確、光刻膠層得質(zhì)量是否滿足要求、圖形的質(zhì)量、套刻精度是否滿足要求

【簡答題】影響顯影的主要因素？

答案：

曝光時間、前烘的溫度和時間、光刻膠的膜厚、顯影液的濃度、顯影液的溫度、顯影液的攪動情況

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