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問答題

【簡答題】離子注入工藝需要控制的工藝參數(shù)及設備參數(shù)有哪些？

答案：工藝參數(shù)：雜質(zhì)種類、雜質(zhì)注入濃度、雜質(zhì)注入深度
設備參數(shù)：弧光反應室的工作電壓與電流、熱燈絲電流、離子分離裝置...

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【簡答題】離子注入主要部件有哪些？

答案：

有離子源、磁分析器、加速器、掃描器、偏束板和靶室。

【簡答題】離子注入后為何退火？

答案：因為大部分注入的離子并不是以替位形式處在晶格點陣位置上，而是處于間隙位置，無電活性，一般不能提供導電性能，所以離子注入后...