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問答題

【簡答題】離子注入后退火的作用是什么？

答案：

作用是激活注入的離子，恢復(fù)遷移率及其他材料參數(shù)。

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【簡答題】什么是離子注入損傷？

答案：

離子注入損傷，是指獲得很大動能的離子直接進(jìn)入半導(dǎo)體中造成的一些晶格缺陷。

【簡答題】有哪些損傷類型？

答案：

損傷類型：空位、間隙原子、間隙雜質(zhì)原子、替位雜質(zhì)原子等缺陷和襯底晶體結(jié)構(gòu)損傷。

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