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問答題

【簡答題】影響熱氧化層電性的電荷來源有哪些類型？降低這些電荷濃度的措施？

答案：（1）可動離子電荷（Qm）：加強工藝衛(wèi)生方可以避免Na+沾污；也可采用摻氯氧化，固定Na+離子；高純試劑
（2...

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答案：

溫度、氣體分壓、硅晶向、摻雜

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答案：

有干氧氧化、濕氧氧化、水汽氧化

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