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問答題

【簡(jiǎn)答題】氧化硅的主要作用有哪些？

答案：

1、作為掩膜，
2、作為芯片的鈣化和保護(hù)膜，
3、作為電隔離膜，
4、作為元器件的組成部分。

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【簡(jiǎn)答題】SiO₂中雜質(zhì)有哪些類型？

答案：

替代式雜質(zhì)、間隙式雜質(zhì)

【簡(jiǎn)答題】何謂橋鍵氧，非橋鍵氧？它們對(duì)SiO₂密度有何影響？

答案：連接兩個(gè)Si—O四面體的氧原子稱橋聯(lián)氧原子，只與一個(gè)四面體連接的氧原子稱非橋聯(lián)氧原子。橋聯(lián)的氧原子數(shù)目越多，...

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