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問答題

【簡(jiǎn)答題】硅片研磨及清洗后腐蝕的方法有哪些？

答案：

腐蝕方式：噴淋及浸泡

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【簡(jiǎn)答題】硅片研磨及清洗后為什么要進(jìn)行化學(xué)腐蝕？

答案：

工序目的：去除表面因加工應(yīng)力而形成的損傷層及污染

【簡(jiǎn)答題】硅片表面吸附雜質(zhì)清洗順序是什么？

答案：

清洗順序：去分子－去離子－去原子－去離子水沖洗－烘干、甩干

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