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問答題

【簡答題】離子注入法有哪些優(yōu)點？

答案：摻雜的過程可通過調整雜質劑量及能量來精確控制雜質分布，可進行小劑量和極小深度的摻雜較低的工藝溫度，故光刻膠可用作掩膜可供...

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【簡答題】摻雜的目的是什么？摻雜在何時進行？慘雜方法有哪幾種？

答案：改變半導體的導電類型，形成N型層或P型層，以形成雙極型晶體管及各種二極管的PN結，或改變材料電導率；摻雜可與外延生長同時...

【簡答題】什么是干法刻蝕？干法有幾種刻蝕方法？

答案：用等離子體對薄膜線條進行刻蝕的一種新技術。
分為等離子體刻蝕、反應離子刻蝕RIE、磁增強反應離子刻蝕、高密度等...

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