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問答題

【簡答題】負性和正性光刻膠有什么區(qū)別和特點？

答案：特點：光刻膠都對大部分可見光靈敏，對黃光不靈敏。
區(qū)別：負性光刻膠使用時，未感光部分被適當?shù)娜軇┛涛g，而感光部...

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【簡答題】什么是光刻？光刻的主要流程有哪些？

答案：

光刻就是通過一系列生產(chǎn)步驟，將晶圓薄膜的特定部分去除的工藝。
流程有晶圓涂光刻膠、曝光、顯影、烘干。

【簡答題】光刻的作用是什么？

答案：

作用是把掩膜上的圖型轉(zhuǎn)換成晶圓上的器件結(jié)構(gòu)。

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