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名詞解釋

Moorelaw

答案：

芯片上所集成的晶體管的數(shù)目，每隔18個月翻一番。

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有限源擴散

答案：

雜質(zhì)總量恒定；雜質(zhì)分布為高斯函數(shù)分布（Gaussian）；表面濃度隨著時間下降，結(jié)深隨著時間增加。

雜質(zhì)固溶度

答案：

在平衡條件下，雜質(zhì)能溶解在硅中而不發(fā)生反應(yīng)形成分凝相的最大濃度。

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