名詞解釋

答案：即金屬有機化合物化學(xué)氣相淀積，是在氣相外延生長（VPE.的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)，以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有...

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答案：即微機電系統(tǒng)，指隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，可批量制作的，集微型機構(gòu)、微型傳感...

答案：

襯底激光剝離，是利用激光能量分解氮化鎵（GaN）/藍寶石接口處的GaN緩沖層，從而實現(xiàn)LED外延片從藍寶石襯底分離。

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