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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】給出使用初級(jí)泵和真空泵的理由。
答案：
當(dāng)真空里的壓強(qiáng)減低時(shí)，氣體分子間的空間加大了，這成為氣體流過(guò)系統(tǒng)及在工藝腔內(nèi)產(chǎn)生等離子體的重要因素。而初級(jí)泵可以去除腔內(nèi)...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例出并描述4種真空范圍。
答案：
四種真空范圍：
（1）低級(jí)真空：氣流主要是由分子間碰撞產(chǎn)生的（也稱滯留），壓強(qiáng)高得足以機(jī)械型壓力測(cè)量?jī)x測(cè)量。
（1）低級(jí)真空：氣流主要是由分子間碰撞產(chǎn)生的（也稱滯留），壓強(qiáng)高得足以機(jī)械型壓力測(cè)量?jī)x測(cè)量。
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】解釋投射電子能顯微鏡。
答案：
TEM把加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的電子碰撞而電子與樣品中的原子的碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體...
