97免费在线观看视频,亚洲综合自拍网,黄色毛片免费观看,热久久综合网,免费看日产一区二区三区 狠狠操av,久久久涩涩涩,在线精品免费视频,人人插天天干,久久91精品国产91久久

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】薄膜在KOH水溶液中的腐蝕速率非常慢,因此常作為硅片定域KOH各向異性腐蝕的掩蔽膜,而PECVD氮化硅薄膜在KOH水溶液中的腐蝕速率快。怎樣才能用已淀積的PECVD氮化硅薄膜作為KOH各向異性腐蝕的掩蔽膜?

答案: PECVD氮化硅薄膜含H、質(zhì)地疏松,抗KOH水溶液中的腐蝕性能差??赏ㄟ^(guò)高溫退火,使H逸出,薄膜致密化,從而提高抗腐蝕性...
微信掃碼免費(fèi)搜題