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名詞解釋
級(jí)聯(lián)碰撞
答案：
位移原子稱為反沖原子。與入射離子碰撞而發(fā)生位移的原子，稱為第一級(jí)反沖原子，與第一級(jí)反沖原子碰撞而位移的原子，稱為第二級(jí)反...
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名詞解釋
駐波效應(yīng)
答案：
光線照射到光刻膠與晶圓的界面上會(huì)產(chǎn)生部分反射。反射光與入射光會(huì)疊加形成駐波，形成駐波效應(yīng)。駐波效應(yīng)影響光刻分辨率。后烘烤...
